微濾-納濾-反滲透組合工藝在電子工業(yè)超純水回用中的應用
電子制造行業(yè)對水質(zhì)要求極高，其生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的清洗廢水含有微量金屬離子和有機物，需深度處理后方可回用。微濾（MF）、納濾（NF）與反滲透（RO）三級膜組合工藝是實現(xiàn)高質(zhì)量回用的關鍵技術路徑。
工藝流程
微濾預處理：去除懸浮物和膠體；
納濾攔截：去除部分硬度、TOC和溶解性有機物；
反滲透深度處理：截留離子和小分子污染物，獲得超純水。
系統(tǒng)特點
出水電導率 < 10 μS/cm；
回用率可達70–90%；
運行穩(wěn)定，自動化程度高。
工程應用
某半導體企業(yè)建立MF-NF-RO系統(tǒng)處理晶圓清洗廢水，日回用量達800 m3，年節(jié)約自來水成本約200萬元，投資回報周期為3年。
